主要製品

フラットパネルディスプレイ生産装置

UV
（紫外線洗浄）

IR
（赤外線加熱乾燥）

HMDS-HP
（HMDS噴霧均熱板加熱乾燥）

VD
（減圧乾燥）

HP/CP
（均熱板加熱乾燥/冷却）

PCP
（均熱板精密温調冷却）

UV･O3-ASH
（UV･O3アッシング）

フィルム塗工乾燥装置

機能性薄膜塗工装置

LIB量産塗工装置

小型実験装置