主要製品

フラットパネルディスプレイ生産装置

UV
(紫外線洗浄)

IR
(赤外線加熱乾燥)

HMDS-HP
(HMDS噴霧均熱板加熱乾燥)

VD
(減圧乾燥)

HP/CP
(均熱板加熱乾燥/冷却)

PCP
(均熱板精密温調冷却)

UV・O3-ASH
(UV・O3アッシング)

 

 

 

 

フィルム塗工乾燥装置

機能性薄膜塗工装置

LIB量産塗工装置

小型実験装置